[实用新型]多工位电子材料电性能温度特性测试装置

摘要

本实用新型公开了一种多工位电子材料电性能温度特性测试装置，包括内部装有冷却液的冷却液腔体、设置在冷却液腔体内部的测试腔体和设置在冷却液腔体外部的保温腔体，保温腔体外设有自动控制系统，测试腔体外缠绕有电热丝，测试腔体内设有支撑板，支撑板上设有环状下电极和多个铰链式上电极组件，铰链式上电极组件包括铰链支撑座、与铰链支撑座铰接的上电极曲臂和设置在上电极曲臂下端的测试探针，位于相邻两个铰链式上电极组件之间的环状下电极上设置有温度传感器，电热丝、测试探针、环状下电极和温度传感器均与自动控制系统电连接。本实用新型设计合理，操作便捷，样品夹持可靠，工作可靠性高，测试效率高、成本低，功能完备，推广应用价值高。

主权项

一种多工位电子材料电性能温度特性测试装置，其特征在于：包括内部装有冷却液（19）的冷却液腔体（2）、设置在冷却液腔体（2）内部的测试腔体和设置在冷却液腔体（2）外部的保温腔体，所述保温腔体外设置有用于对电性能温度特性测试过程进行自动控制的自动控制系统（4），所述测试腔体外缠绕有用于对测试腔体进行加热的电热丝（5），所述测试腔体内设置有支撑板（6），所述支撑板（6）上设置有环状下电极（7）和与环状下电极（7）相配合构成多个测试工位的多个铰链式上电极组件，所述铰链式上电极组件包括设置在支撑板（6）上的铰链支撑座（8‑1）、通过铰链轴（8‑2）与铰链支撑座（8‑1）铰接的上电极曲臂和设置在上电极曲臂下端的测试探针（8‑4），所述铰链支撑座（8‑1）设置在环状下电极（7）外围的支撑板（6）上，所述测试探针（8‑4）位于所述环状下电极（7）的上方且与环状下电极（7）构成了测试夹具，位于相邻两个铰链式上电极组件之间的环状下电极（7）上设置有用于对测试腔体内温度进行实时检测的温度传感器（9），所述电热丝（5）、测试探针（8‑4）、环状下电极（7）和温度传感器（9）均通过导线（10）与所述自动控制系统（4）电连接，所述支撑板（6）上设置有用于供导线（10）穿过的第一导线孔（11），所述测试腔体上设置有用于供导线穿过的第二导线孔（12），所述冷却液腔体（2）上设置有用于供导线穿过的第三导线孔（13），所述保温腔体上设置有用于供导线穿过的第四导线孔（14）。