[实用新型]一种双面光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种双面光刻装置，包括光刻机、双面对准光刻版和光刻板固定夹具；其光刻板固定夹具包括调整框、铝盖、锁紧夹和铝座架；双面对准光刻版包括规格相同的光刻版B和光刻版A，光刻版B和光刻版A四个角上均有专用对准标记；光刻版B固定在铝盖上，光刻版A固定在铝座架上，硅片置于光刻版B和光刻版A之间，通过两个锁紧夹将光刻版B、硅片和光刻版A牢牢固定。本实用新型改善了现有技术的工艺成本，提供一种结构性夹具，配合在光刻版图上做出对准标记，应用机械导柱和引导腔体设计，保证上下版图对准重复精度小于3μm，提高了劳动效率。其结构简单巧妙，操作便捷，重复性能好。

主权项

一种双面光刻装置，包括光刻机、双面对准光刻版（3）（7）和光刻板固定夹具；其特征在于：所述光刻板固定夹具包括调整框（2）、铝盖（4）、锁紧夹（5）（8）和铝座架（6）；双面对准光刻版包括规格相同的光刻版B（3）和光刻版A（7），光刻版B（3）和光刻版A（7）四个角上均有专用对准标记；光刻版B（3）固定在铝盖（4）上，光刻版A（7）固定在铝座架（6）上，硅片（1）置于光刻版B（3）和光刻版A（7）之间，通过两个锁紧夹（5）（8）将光刻版B（3）、硅片（1）和光刻版A（7）牢牢固定。