[实用新型]晶片检测机有效
| 申请号： | 201220211376.3 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202735420U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 姚圳杰;何志强 | 申请（专利权）人： | 益明精密科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶片检测机，该晶片检测机具有可调整X轴、Y轴位置和θ角的晶片载台，以及沿着垂直轴(Z轴)升降移动的检测卡载台。本实用新型以移动检测卡载台的方式，避免因晶片载台升降位移使晶片受震动而偏移的问题，据以达到晶片检测机高稳定度和检测结果高可靠度的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检测 | ||
【主权项】：
一种晶片检测机，其特征在于，包括：一承载待测晶片并可调整该待测晶片X轴、Y轴位置和θ角的晶片载台；一承载一检测卡并可沿着一垂直Z轴于一复回位置和一检测位置往复升降移动的检测卡载台。
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