[实用新型]石英管废气排风装置有效
申请号: | 201220208392.7 | 申请日: | 2012-05-10 |
公开(公告)号: | CN202786516U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 宋道新;殷海峰;杨洪军 | 申请(专利权)人: | 山东天信光伏新能源有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 东营双桥专利代理有限责任公司 37107 | 代理人: | 王锡洪 |
地址: | 257091 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光伏行业中的扩散机,特别涉及一种石英管废气排风装置。其技术方案是:主要由主排风管、球阀、废气管、废液瓶、大石英管、恒温槽、进气管和出气管组成,恒温槽内设有三氯氧磷,恒温槽通过进气管与大石英管连通,大石英管的出气管连接多个废液瓶,废液瓶的末端通过废气管连接到主排风管中,在所述的废气管与主排风管之间设有球阀。有益效果是:在扩散过程中能够有效地控制排风量,时排风不稳,减少到最小,同时降低了电能,水、HF等的使用,节省了成本。 | ||
搜索关键词: | 石英管 废气 装置 | ||
【主权项】:
一种石英管废气排风装置,其特征是:主要由主排风管(1)、球阀(2)、废气管(3)、废液瓶(4)、大石英管(5)、恒温槽(6)、进气管(7)和出气管(8)组成,恒温槽(6)内设有三氯氧磷,恒温槽(6)通过进气管(7)与大石英管(5)连通,大石英管(5)的出气管(8)连接多个废液瓶(4),废液瓶(4)的末端通过废气管(3)连接到主排风管(1)中,在所述的废气管(3)与主排风管(1)之间设有球阀(2)。
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