[实用新型]多光束阵列光诱导反射率成像装置

摘要

本实用新型公开了一种多光束阵列光诱导反射率成像装置，包括泵浦光源、探测光源、衍射分光装置、阵列光调制器、分色镜、光学透镜、偏振分光元件、光学滤光片和光电探测器。本实用新型通过泵浦光诱导探测光的反射率变化进行反射率成像，且在成像速度上比传统的对样品逐点扫描方法可以有很大提高；同时由于无需进行逐点扫描，具体检测及成像仪器设计可以避免使用移动部件，有利于提高仪器的稳定性、降低成本、进一步小型化以及拓宽应用领域。

主权项

多光束阵列光诱导反射率成像装置，包括泵浦光源、探测光源、光电探测器、与泵浦光源和探测光源对应的样品台，其特征在于：从泵浦光源至样品台之间依次设置有泵浦光衍射分光装置、阵列调制器、分色镜和聚焦成像透镜；从探测光源至样品台之间依次设置有探测光衍射分光装置、偏振分光镜、四分之一波片、所述的分色镜和所述的聚焦成像透镜；所述的光电探测器设置于偏振分光镜的后端，从所述的偏振分光镜至光电探测器之间设置有探测光聚焦透镜和探测光滤光装置。