[实用新型]一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统

摘要

本实用新型公开了一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统。具体包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气。本实用新型采用五阀四柱的阀路系统，一次进样可完成多种气相杂质的测定。该阀路系统操作方便，适用于高纯度含氟电子气体领域工业化生产中使用。

主权项

一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统，包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气，其中第一四通阀(1)的第1接口、第2接口分别连接样品出口、样品进口，第一四通阀的第4接口连接第一路载气，第一四通阀的第3接口通过管路与第一十通阀(2)的第1接口连接；第一十通阀(2)的第2接口连接气体出口，第一十通阀的第3接口和第10接口之间连接定量环(24)，第一十通阀的第4接口连接第三路载气，第一十通阀的第5接口和第9接口之间连接预分离色谱柱(6)，第一十通阀的第6接口通过管路与八通阀(3)的第1接口连接，第一十通阀的第7接口连接第二路载气，第一十通阀的第8接口连接压力平衡调节阀(21)后接气体出口；八通阀(3)的第2接口通过管路与第二十通阀(4)的第1接口连接，八通阀的第3接口连接第五路载气，八通阀的第4接口连接压力平衡调节阀(19)后接气体出口，八通阀的第5接口通过管路与第二四通阀(5)的第1接口连接，八通阀的第6接口连接压力平衡调节阀(20)后接气体出口，八通阀的第7接口连接第四路载气，八通阀的第8接口连接第一分析色谱柱(7)；第二十通阀(4)的第2接口和第5接口之间连接管路和压力平衡调节阀(17)，第二十通阀的第3接口和第8接口之间连接管路，第二十通阀的第4接口连接压力平衡调节阀(18)后接气体出口，第二十通阀的第6接口连接第三分析色谱柱(9)，第二十通阀的第7接口和第10接口之间连接第二分析色谱柱(8)，第二十通阀的第9接口连接第六路载气；第二四通阀(5)的第2接口连接第三分析色谱柱(9)，第二四通阀的第3接口连接压力平衡调节阀(22)后接放电离子化检测器(25)，第二四通阀的第4接口连接第一分析色谱柱(7)。