[实用新型]一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构

摘要

本实用新型涉及开门式晶体生长设备，旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路，在进气回路上设电磁阀，通过信号线与控制单元相连；气缸固定于气缸座上，气缸座固定于晶体生长设备的壁上；气缸座内设置滑块，滑块的一端与气缸的轴相连，另一端是密封端；滑块的密封端与门或窗口的侧边相对应，且各设密封面；每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分，两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。该机构在设备处于工作状态的时候，锁紧机构可以锁紧门或窗口等可开式结构，保证设备密封性和安全性，并为整体系统控制提供检测的数据信号，在提高生产效率的同时，保证安全性，实现产业化。

主权项

一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构，包括气缸和与气缸相连的进气回路，在进气回路上设有用于启闭气路的电磁阀，电磁阀通过信号线与控制单元相连；其特征在于，所述气缸固定于气缸座上，气缸座固定于晶体生长设备的壁上；气缸座内设置滑块，滑块的一端与气缸的轴相连，另一端是密封端；滑块的密封端与晶体生长设备的门或窗口的侧边相对应，且各设密封面；每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分，两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。