[实用新型]生产石英坩埚用抽真空装置有效
申请号: | 201220140859.9 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN202499801U | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 侯建;王震 | 申请(专利权)人: | 锦州佑鑫石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121017 辽宁省锦州*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种生产石英坩埚用抽真空装置,包括真空泵、电磁阀、过滤罐,所述的过滤罐与电磁阀连接,其特殊之处是:所述真空泵的抽气口连接有储压罐,所述储压罐与所述电磁阀连接。由于增设了储压罐,工作时将电磁阀关闭、真空泵打开,使储压罐内形成负压环境,打开电磁阀,真空泵与储压罐的抽吸力叠加,快速将石英坩埚与石英坩埚冷却水套的空气抽出,缩短了抽吸过程耗费时间,提高了石英坩埚的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 生产 石英 坩埚 真空 装置 | ||
【主权项】:
一种生产石英坩埚用抽真空装置,包括真空泵、电磁阀、过滤罐,所述的过滤罐与电磁阀连接,其特征是:所述真空泵的抽气口连接有储压罐,所述储压罐与所述电磁阀连接。
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