[实用新型]超声波去气机

摘要

一种超声波去气机，由工作台(1)、托盆(2)、超声波发生器(3)、加热台支架(4)、加热台(5)、体视显微镜(6)、电源及温度控制器(7)、计算机组成；其中，工作台(1)上方放置体视显微镜(6)和显示器(9)，板中央开有一孔，孔中安置托盆(2)，托盆(2)上放置超声波发生器(3)，超声波发生器(3)中又放置加热台支架(4)和加热台(5)；反面还安装有电源及温度控制器(7)；计算机主机(8)放置在工作台(1)台板底下；电源及温度控制器(7)通过导线与加热台(1)、超声波发生器(3)、体视显微镜(6)、计算机主机(8)连接。本实用新型烧焊的集成电路芯片剪切强度均匀，解决了空洞面积过大的问题，能克服芯片易炸裂、表面易受污染和后续工序清洗难。结构简单、使用方便。适用于半导体集成电路芯片的制造。

主权项

一种超声波去气机，其特征在于它由工作台(1)、托盆(2)、超声波发生器(3)、加热台支架(4)、加热台(5)、体视显微镜(6)、电源及温度控制器(7)、计算机组成；其中，工作台(1)台板上方放置体视显微镜(6)和计算机的显示器(9)，台板中央开有一个长方形孔，孔中安置托盆(2)，托盆(2)上放置超声波发生器(3)，超声波发生器(3)中又放置加热台支架(4)，加热台(5)放置于该支架(4)上；台板的反面还安装有电源及温度控制器(7)；计算机主机(8)放置在工作台(1)台板底下；电源及温度控制器(7)通过导线与加热台(1)、超声波发生器(3)、体视显微镜(6)、计算机主机(8)连接，计算机主机(8)与显示器(9)有数据线连接。