[实用新型]高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置

摘要

一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置，包括计算机、第一激光器、反射镜、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、能量计、聚焦透镜、在线显微镜判断装置、耐高温可移动平台和温控箱，通过温控箱设定不同的温度和保温时间，对薄膜的即时损伤阈值和损伤耐久性进行评价。解决了现有技术只能测量常温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值的问题，提供了一种可以测量高温环境下激光辐照薄膜损伤阈值的装置。其结构简单易行，可进行高温环境下激光辐照光学薄膜即时损伤阈值的测量，还可对保温不同时间样品的损伤阈值进行测量，评价薄膜在高温环境下激光损伤的耐久性。

主权项

一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置，其特征是：高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置，包括：计算机、第一激光器、反射镜、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、能量计、聚焦透镜、在线显微镜判断装置、耐高温可移动平台和温控箱；计算机的输出端与第一激光器、第二激光器、在线显微镜判断装置和耐高温可移动平台连接；第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、聚焦透镜在第二激光器的第二光路上，在第二光路中的第一反射镜和第二反射镜为折射镜，第三反射镜、分光镜和聚焦透镜为透射镜；反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、聚焦透镜在第一激光器的第一光路上，第一光路中的反射镜和第三反射镜为折射镜，分光镜和聚焦透镜为透射镜，能量计在分光镜折射光路上，耐高温可移动平台和待测样品位于温控箱内，待测样品位于第一光路和第二光路上；在线显微镜判断装置位于温控箱外。