[实用新型]一种用于真空离子镀膜机的星形拨动齿轮托架有效
申请号: | 201220104833.9 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN202643830U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 文晓斌;栾亚 | 申请(专利权)人: | 文晓斌 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/32 |
代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 郭防 |
地址: | 523692 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于真空离子镀膜机的星形拨动齿轮托架,包括零件支架(1)、星形拨动齿轮架(2)、压盘(3)、定位托盘(4)和紧固件(5),紧固件(5)内设有定位托盘(4),定位托盘(4)的上方设有压盘(3),星形拨动齿轮架(2)设于定位托盘(4)内,零件支架(1)设于星形拨动齿轮架(2)的顶部。本实用新型能够在跟随旋转工作台公转同时进行自身自转,保证工件在零件架上镀膜均匀,加快了镀膜的速度和质量;而且它具有结构简单、悬挂工件量大的优点,能够有效提高镀膜效率,满足大规模的批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 真空 离子 镀膜 星形 拨动 齿轮 托架 | ||
【主权项】:
一种用于真空离子镀膜机的星形拨动齿轮托架,其特征在于:包括零件支架(1)、星形拨动齿轮架(2)、压盘(3)、定位托盘(4)和紧固件(5),紧固件(5)内设有定位托盘(4),定位托盘(4)的上方设有压盘(3),星形拨动齿轮架(2)设于定位托盘(4)内,零件支架(1)设于星形拨动齿轮架(2)的顶部。
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