[实用新型]超纯水制造用子系统有效
| 申请号： | 201220101480.7 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN202705158U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 川胜孝博;福井长雄 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔香丹;张永康 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种在UF膜装置即超滤膜装置的后级中具有压力损失低的吸附装置的超纯水制造用子系统。一种超纯水制造用子系统，其是从一次纯水制造超纯水的子系统(3)，其中，至少包括UV装置(13)、脱气装置(15)、离子交换树脂装置(16)和UF膜装置(17)、以及在该UF膜装置的后级设置的填充了粒径为1～3mm的粒状吸附体的吸附装置(18)，基于来自该UF膜装置(17)的流出水压，在不使用升压泵的情况下向吸附装置(18)中通水。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 子系统 | ||
【主权项】：
一种超纯水制造用子系统，其是从一次纯水制造超纯水的子系统，其至少包括UV装置、脱气装置、离子交换树脂装置以及UF膜装置，其特征在于，在该UF膜装置的后级中，具有填充了粒径为1～3mm的粒状吸附体的吸附装置；通过来自该UF膜装置的流出水压，能够在不使用升压泵的情况下向该吸附装置中通水。
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