[实用新型]超纯氢输送管路系统有效
| 申请号： | 201220038009.8 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN202442108U | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 陈军;周旻 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D5/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超纯氢输送管路系统，包括不锈钢的气体管道，其特征在于，所述气体管道在与气源连接的始端设有预过滤器，在与用气设备连接的终端设置有终端过滤器；所述气体管道上设置的与气体接触的附件为与所述气体管道相同的不锈钢材料附件。本实用新型通过在超纯氢输送管路上设置双重过滤系统，有效保障了超纯氢的纯度，大大降低了气体在管道输送过程中被管道内吸附的物质污染的几率，维护后期的电子产品生产工序能够稳定进行。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯氢 输送 管路 系统 | ||
【主权项】：
一种超纯氢输送管路系统，包括不锈钢的气体管道，其特征在于，所述气体管道在与气源连接的始端设有预过滤器，在与用气设备连接的终端设置有终端过滤器；所述气体管道上设置的与气体接触的附件为与所述气体管道相同不锈钢材料的附件。
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