[实用新型]一种硅棒表面研磨机砂轮的冷却机构有效

专利信息
申请号: 201220021730.6 申请日: 2012-01-18
公开(公告)号: CN202479971U 公开(公告)日: 2012-10-10
发明(设计)人: 裴保齐;邵斌;郭立洲 申请(专利权)人: 洛阳鸿泰半导体有限公司
主分类号: B24B55/02 分类号: B24B55/02
代理公司: 洛阳明律专利代理事务所 41118 代理人: 智宏亮
地址: 471023 河南省洛*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型属于冷却技术领域,提出的一种硅棒表面研磨机砂轮的冷却机构,主要包括冷却水管(1)、导流槽(2)和导流孔(3);所述的冷却水管(1)设置在砂轮(7)防护罩(6)的一侧,其一端与冷却水源相连通,另一端与设置在砂轮(7)上的导流槽(2)相连通;所述砂轮的下部为空腔结构;所述的导流槽(2)设置在砂轮(7)的上端面上,在所述导流槽(2)的内部具有多个用以将冷却水引入砂轮的内部、并使冷却水沿砂轮的内壁流至砂轮与硅棒的结合面上的导流孔(3),且所述的导流孔(3)与导流槽(2)相连通。本实用新型能让冷却水直达需要冷却的部位,有效的提高了加工效率,延长了砂轮的使用寿命。
搜索关键词: 一种 表面 研磨机 砂轮 冷却 机构
【主权项】:
一种硅棒表面研磨机砂轮的冷却机构,其特征在于:主要包括冷却水管(1)、导流槽(2)和导流孔(3);所述的冷却水管(1)设置在砂轮(7)防护罩(6)的一侧,其一端与冷却水源相连通,另一端与设置在砂轮(7)上的导流槽(2)相连通;所述砂轮的下部为空腔结构;所述的导流槽(2)设置在砂轮(7)的上端面上,在所述导流槽(2)的内部具有多个用以将冷却水引入砂轮的内部、并使冷却水沿砂轮的内壁流至砂轮与硅棒的结合面上的导流孔(3),且所述的导流孔(3)与导流槽(2)相连通。
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