[实用新型]多晶硅材料残余应力在线测试结构

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，该测试结构包括三个基本结构相同的多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针以“品”字型放置，所有指针都指向中心，左下部多晶硅偏转指针和右下部多晶硅偏转指针结构完全相同，以测试结构竖直中心线左右镜向，上部多晶硅偏转指针位于中心，指针Ⅰ方向与下部的左右多晶硅偏转指针的指针Ⅱ、指针Ⅲ方向相反；整个测试结构制作在绝缘衬底上，除锚区及其上的金属电极外，在结构被释放后，驱动梁以及指针均处于悬浮状态，以便于释放残余应力并自由伸缩与偏转。本实用新型具有测试结构简单、电信号加载和测量简便、计算方法稳定等优点。

主权项

一种多晶硅材料残余应力在线测试结构，其特征在于：包括三个多晶硅偏转指针，三个多晶硅偏转指针分别包括多晶硅驱动梁、多晶硅指针和锚区，所述多晶硅驱动梁包括驱动梁Ⅰ（101）、驱动梁Ⅱ（103）和驱动梁Ⅲ（105）；多晶硅指针包括指针Ⅰ（102）、指针Ⅱ（104）和指针Ⅲ（106）；三个多晶硅偏转指针呈“品”字型放置，指针Ⅰ（102）、指针Ⅱ（104）和指针Ⅲ（106）都指向中心；左下部多晶硅偏转指针和右下部多晶硅偏转指针结构完全相同，以测试结构竖直中心线左右镜向，上部多晶硅偏转指针位于中心，其指针Ⅰ（102）方向与下部的左右多晶硅偏转指针的指针Ⅱ（104）、指针Ⅲ（106）方向相反；整个测试结构制作在绝缘衬底（117）上，在结构被释放后，驱动梁Ⅰ（101）、驱动梁Ⅱ（103）、驱动梁Ⅲ（105）以及指针Ⅰ（102）、指针Ⅱ（104）、指针Ⅲ（106）均处于悬浮状态，以便于释放残余应力并自由伸缩与偏转。