[发明专利]一种无机/有机多层复合隔膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210577771.8 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103066228A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 徐睿杰;雷彩红;莫康信;胡冰;石文强;蔡启;张海燕 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01M2/16 | 分类号： | H01M2/16;C23C14/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无机/有机多层复合隔膜的制备方法，将隔膜浸泡在有机溶剂中，超声波震荡15～30min清洗隔膜表面，在烘箱中干燥，然后将其裁剪为方形隔膜；将上述方形隔膜及靶材放入射频溅射设备中；调整射频溅射设备的气压为0.1~1.0Pa，后充入反应气体，溅射功率为5～80W、溅射时间为5~100min；运行设备，靶材等离子体轰击气体分子后形成无机物/有机物沉积在隔膜的两侧，制得无机/有机多层复合隔膜；在多孔性的隔膜表面均匀溅射一层或多层无机物/有机物，有效的改善普通隔膜的尺寸稳定性，提高隔膜的耐热性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无机 有机 多层 复合 隔膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种无机/有机多层复合隔膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1） 将隔膜浸泡在有机溶剂中，超声波震荡15～30min清洗隔膜表面，在烘箱中干燥 ，然后将其裁剪为方形隔膜；2） 将上述方形隔膜及靶材放入射频溅射设备中；3） 调整射频溅射设备的气压为0.1~1.0Pa，后充入反应气体，溅射功率为5～80W、溅射时间为5~100min ；4） 运行设备，靶材等离子体轰击气体分子后形成无机物/有机物沉积在隔膜的两侧，制得无机/有机多层复合隔膜。
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