[发明专利]亲水性光致产酸剂和包含它的抗蚀剂组合物

摘要

本发明公开了一种亲水性光致产酸剂和含有它的抗蚀剂组合物，所述亲水性光致产酸剂由具有以下式1或2所示结构的第一(甲基)丙烯酸酯和选自第二(甲基)丙烯酸酯、烯烃类化合物及它们的混合物中的可聚合单体共聚而制得，该可聚合单体的每一种包含选自羟基、羧基、内酯基、腈基和卤素基团所构成的组中的官能团：[式1][式2]其中，各个取代基在说明书中限定。所述亲水性光致产酸剂均匀地分散在抗蚀剂膜中，从而改善了抗蚀剂图案的线边缘粗糙度。

主权项

1.一种亲水性光致产酸剂，所述亲水性光致产酸剂由具有下式1或2所示结构的第一(甲基)丙烯酸酯和选自第二(甲基)丙烯酸酯、烯烃类化合物及它们的混合物的可聚合单体共聚而制得，所述可聚合单体的每一种包含选自羟基、羧基、内酯基、腈基和卤素基团的官能团：[式1][式2]其中，R₁₁和R₂₁各自独立地选自氢原子、C1-C4烷基和C1-C4烷氧基；R₁₂和R₂₂各自独立地选自C1-C20亚烷基、C2-C20亚烯基、C1-C20杂亚烷基、C2-C20杂亚烯基、C3-C30亚环烷基、C3-C30亚环烯基、C2-C30杂环亚烷基和C3-C30杂环亚烯基；R₂₃和R₂₄各自独立地选自氢原子、C1-C20烷基、C1-C20链烯基、C3-C30环烷基、C3-C30环烯基、C6-C30芳基和C2-C30杂环基，或者R₂₃和R₂₄彼此结合而形成C3-C30饱和或不饱和烃环；X₁选自包含选自卤素基团、C1-C5卤代烷基和氰基中的官能团的C1-C20亚烷基；C6-C30亚芳基；和C5-C30杂亚芳基；Y⁺是由下式3表示的化合物：[式3]其中，R₃₁、R₃₂和R₃₃各自独立地选自C1-C20烷基、C2-C20链烯基、C3-C30环烷基、C3-C30环烯基和C6-C30芳基，其中R₃₁、R₃₂和R₃₃的一个或多个氢原子各自独立地被选自卤素基团、羟基、羧基、硫基、C1-C10烷基、C1-C10烷氧基、C6-C18芳基、(C1-C10烷基)硫基、C6-C18芳氧基、(甲基)丙烯酰氧基、(C1-C10烷基)羰基氧基以及它们的组合中的任何取代基取代；Z^-是由下式4表示的化合物：[式4]其中，R₄₁选自C1-C20亚烷基、C2-C20亚烯基、C1-C20杂亚烷基、C2-C20杂亚烯基、C3-C30亚环烷基、C3-C30亚环烯基、C2-C30杂环亚烷基和C3-C30杂环亚烯基；R₄₂选自氢原子、卤素原子、C1-C20烷基、C2-C20链烯基、C1-C20烷氧基、C1-C20烷氧基烷基、C1-C20卤代烷基、C1-C20卤代烷氧基、C1-C20烷硫基、C3-C30环烷基、C3-C30环烯基、C6-C30芳基、C7-C30芳烷基、C5-C30杂环基和其中W₁是-(C=O)-或-(SO₂)-;W₂是C1-C10亚烷基或C1-C10杂亚烷基；W₃选自氢原子、卤素基团、C1-C10烷基、C2-C20链烯基、C1-C10烷氧基、C1-C10卤代烷基、(C1-C10烷基)硫基、C3-C30环烷基、C6-C30芳基、(C6-C30芳基)氧基、(C6-C30芳基)硫基、C5-C30杂环基以及它们的组合；X₂是其中至少一个氢原子被卤素基团取代的C1-C20卤代亚烷基；和m和n各自独立地是0或1。