[发明专利]惰性气体注入设备及惰性气体注入方法有效
| 申请号： | 201210560915.9 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103174934A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 高原正裕;上田俊人 | 申请（专利权）人： | 株式会社大福 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;杨楷 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种惰性气体注入设备。惰性气体注入设备具备：注入装置（N），设在支承收存基板（W）的容器（50）的支承部上，在从容器（50）的排气口（50o）使容器（50）内的气体向外部排出的状态下，从容器（50）的供气口（50i）将惰性气体向容器（50）的内部注入；控制装置（H），控制注入装置（N）的动作。注入装置（N）可变更惰性气体的供给流量而构成；控制装置（H）构成为，在向支承在支承部上的容器（50）供给惰性气体时，控制注入装置（N）的动作，以使供给流量朝向目标流量逐渐增加。 | ||
| 搜索关键词： | 惰性气体 注入 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种惰性气体注入设备，具备：注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以从上述容器的排气口使上述容器内的气体向外部排出的状态，从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；控制装置，控制上述注入装置的动作；其特征在于，上述注入装置可变更上述惰性气体的供给流量而构成；上述控制装置构成为，在向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向目标流量逐渐增加。
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