[发明专利]上游和下游传送工具之间传送力的控制的改善的运动质量

摘要

一种介质传送工具，其包括第一介质传送工具，其具有第一传送表面和第一驱动单元，并被配置和可操作以传送该基板介质。第二介质传送工具，其具有第二传送表面和第二驱动单元，该第二介质传送工具从所述第一介质传送工具接收所述基板介质并传送该基板介质。第一测力传感器测量所述第一和第二介质传送工具之间的第一相对力，并输出与所述第一相对力相关的第一力信号。控制单元接收所述第一相对力信号，并基于所述第一相对力信号与预定值的比较将控制信号输出至所述第一和第二驱动单元中的至少一个。该控制信号控制各自所述的第一或第二驱动单元以驱动各自所述第一或第二介质传送工具的运动以保持该力信号在或者不超过所述预定值。还提供了一种使用该介质传送装置的方法。

主权项

一种介质传送装置，包括：具有第一传送表面和第一驱动单元的第一介质传送工具，该第一介质传送工具被配置成并且能操作以传送基板介质；具有第二传送表面和第二驱动单元的第二介质传送工具，该第二介质传送工具被配置成并且能操作以从所述第一介质传送工具接收所述基板介质并传送该基板介质；第一测力传感器，其能操作以测量所述第一和第二介质传送工具之间的第一相对力，并且输出与该第一相对力相关的第一力信号；控制单元，其被配置并能操作以接收所述第一相对力信号，并且根据所述第一相对力信号与预定值的比较，输出控制信号至所述第一和第二驱动单元中的至少一个，该控制信号控制各自的所述第一或第二驱动单元以驱动各自的所述第一或第二介质传送工具的运动以将该力信号维持在或者不超过所述预定值。