[发明专利]薄膜太阳能电池退火装置、铜铟镓硒薄膜电池及铜锌锡硫薄膜电池吸收层的制备方法无效
| 申请号： | 201210548283.4 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103014651A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 罗海林;顾光一;杨春雷;钟国华;肖旭东 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，包括退火炉、基片架及第一加热灯管；所述退火炉为中空结构，其内部为密闭的退火腔；所述基片架设置于所述退火腔侧壁上，所述基片可装载于所述基片架上；所述第一加热灯管一端设置于所述退火腔侧壁上，所述第一加热灯管位于所述基片设置有金属薄膜预制层的一侧，所述第一加热灯管与所述基片相互间隔，且所述第一加热灯管与所述基片架所在平面平行，所述第一加热灯管与所述基片架之间可相对运动。上述薄膜太阳能电池退火装置中，第一加热灯管发出的热量直接辐射至基片表面，增大了其快速升温能力。同时还提供了铜铟镓硒薄膜电池及铜锌锡硫薄膜电池吸收层的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 退火 装置 铜铟镓硒 电池 铜锌锡硫 吸收 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，其特征在于，包括：退火炉，为中空结构，其内部为密闭的退火腔；基片架，设置于所述退火腔侧壁上，所述基片可装载于所述基片架上；第一加热灯管，其一端设置于所述退火腔侧壁上，所述第一加热灯管位于所述基片设置有金属薄膜预制层的一侧，所述第一加热灯管与所述基片相互间隔，且所述第一加热灯管与所述基片架所在平面平行，所述第一加热灯管与所述基片架之间可相对运动。
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