[发明专利]脊型光波导的制造方法在审
| 申请号： | 201210547273.9 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103869415A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种脊型光波导的制造方法，一种脊型光波导的制造方法，其包括以下步骤：提供一个基底；在该基底上镀一个蚀刻阻抗层；将设置有该蚀刻阻抗层的基底浸入第一种蚀刻液中进行湿式蚀刻形成一个脊型结构；去掉该蚀刻阻抗层；在该脊型结构上镀一个钛金属层；及对该钛金属层进行高温扩散，使该钛金属层扩散到脊型结构内。该脊型光波导的制造方法的制程简单，制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 脊型光 波导 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种脊型光波导的制造方法，其包括以下步骤：提供一个基底；在该基底上镀一个蚀刻阻抗层；将设置有该蚀刻阻抗层的基底浸入第一种蚀刻液中进行湿式蚀刻形成一个脊型结构；去掉该蚀刻阻抗层；在该脊型结构上镀一个钛金属层；及对该钛金属层进行高温扩散，使该钛金属层扩散到脊型结构内。
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