[发明专利]基板与掩模贴合夹持装置

摘要

本发明公开了一种基板与掩模贴合夹持装置，包括推动组件、上部夹爪机构及下部夹爪机构。上部夹爪机构包括第一斜面、摆动件、第二斜面及滑动面。下部夹爪机构包括下部夹爪固定座及夹爪。夹爪可动地装设于下部夹爪固定座。在推动组件沿第一方向运动的过程中，推动组件与第一斜面相对运动而带动上部夹爪机构沿第二方向运动，且推动组件带动第二斜面与摆动件进行相对运动，进而使摆动件带动夹爪沿与第一方向反向的第三方向运动，且推动组件带动滑动面与下部夹爪机构产生相对运动，进而带动夹爪沿第四方向运动。

主权项

一种基板与掩模贴合夹持装置，包括：一推动组件；一上部夹爪机构，包括：一第一往复运动组件，包括一第一斜面及一摆动件；一第二往复运动组件，包括一第二斜面及一滑动面；以及一下部夹爪机构，包括：一下部夹爪固定座；及一夹爪，可动地设于该下部夹爪固定座；其中，在该推动组件沿一第一方向运动的过程中，该推动组件与该第一斜面进行相对运动而带动该第一往复运动组件沿一第二方向运动，且该推动组件带动该第二斜面与该摆动件进行相对运动，进而带动该夹爪沿与该第一方向反向的一第三方向运动，且该推动组件带动该滑动面与该下部夹爪机构产生相对运动，进而带动该夹爪沿一第四方向运动，其中该第一方向、该第二方向及该第四方向实质上互相垂直。