[发明专利]光学元件轴向调整装置无效
| 申请号： | 201210535927.6 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN102981234A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩;孙振 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光学元件轴向调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，本装置包括镜框、镜筒、弓形弹片和三个驱动器，光学元件与镜框之间通过胶粘的方式组成镜框组件，镜筒和镜框组件通过弓形弹片连接，三个驱动器前进或后退时，能够推动弓形弹片的内环产生轴向位移，由于弓形弹片的内外环通过一圈很薄的弹片连接，能够保证弓形弹片的内环轴向运动时其位移量沿周向均匀，同时能够约束轴向运动引入的偏心和倾斜误差，从而保证轴向位移量均匀地作用在镜框组件上，最终实现光学元件的轴向运动。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 轴向 调整 装置 | ||
【主权项】：
光学元件轴向调整装置，包括镜框（1‑2）、镜筒（2）、弓形弹片（3）和三个压电驱动器（4）；其特征在于，光学元件（1‑1）与镜框（1‑2）之间通过胶粘的方式组成镜框组件（1），所述镜筒（2）和镜框组件（1）通过弓形弹片（3）连接。
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