[发明专利]一种ArF激光光学薄膜角度散射测量装置无效
| 申请号： | 201210520608.8 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103018205A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 金春水;常艳贺;李春;邓文渊;靳京城 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01B11/30 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ArF激光光学薄膜角度散射测量装置，包括：用于产生测量激光的ArF准分子激光器；在测量激光的光路上依次设有ArF准分子激光扩束准直装置，可变光阑，偏振光起偏器和分束器；测量激光经过分束器后分为两条光路，其中一条光路上设有参比光偏振探测装置；另外一条光路上设有旋转样品台；测量激光照射在所述旋转样品台上的样品后，透射光路上设有透射光偏振探测装置，散射光路上设有散射光偏振探测装置。本发明的ArF激光光学薄膜角度散射测量装置是一个专门针对ArF激光波长光学元件建立的角度散射测量装置；通过测试入射平面内的散射光空间分布，可以计算得到一维表面粗糙度，进而分析多层膜在生长过程中微观结构的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 arf 激光 光学薄膜 角度 散射 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种ArF激光光学薄膜角度散射测量装置，其特征在于， 包括：用于产生测量激光的ArF准分子激光器；在测量激光的光路上依次设有ArF准分子激光扩束准直装置，可变光阑，193nm偏振光起偏器和分束器；测量激光经过分束器后分为两条光路，其中一条光路上设有193nm参比光偏振探测装置；另外一条光路上设有旋转样品台；测量激光照射在所述旋转样品台上的样品后，透射光路上设有193nm透射光偏振探测装置，散射光路上设有193nm散射光偏振探测装置。
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