[发明专利]一种等离子体产生诱因识别方法

摘要

本发明涉及一种等离子体产生诱因识别方法，包括：将被测样品固定在电动平移台，泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集；泵浦激光器辐照被测样品，外触发式相机再次通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集；判断是否发生等离子体闪光，若是，则在发生等离子体闪光的第(x，y)张图片上，比较激光未辐照前与激光辐照后的第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的差异，判定等离子体产生的诱因；若否，则比较每个x和y位置下的图片N0xy和N1xy的差异，判定样品是否发生损伤；提升泵浦激光能量，实现不同能量的测量。与现有技术相比，本发明具有判定简单准确等优点。

主权项

一种等离子体产生诱因识别方法，该方法用于高反射激光薄膜损伤阈值测量中，所述的损伤阈值测量的装置包括用于发射泵浦激光的泵浦激光器、用于带动被测样品移动的电动平移台、照明电源和实时监测并获取被测样品图像的损伤监控组件，所述的损伤监控组件包括在线显微镜和外触发式相机，其特征在于，所述的识别方法具体包括以下步骤：1)将被测样品固定在电动平移台，电动平移台控制被测样品做光栅轨迹移动，在线显微镜对准泵浦激光辐照被测样品的位置；2)泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将第(x，y)张图片标记为N0xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N0xy‑ab，全局坐标记为N0XY，其中，a和b为缺陷点在第(x，y)张图片中的局部坐标，X和Y为以第(1，1)张图片的左上角为原点、缺陷点在整个测量区域的全局坐标；3)泵浦激光器辐照被测样品，外触发式相机再次通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将将第(x，y)张图片标记为N1xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N1xy‑ab，全局坐标记为N1XY；4)判断是否发生等离子体闪光，若是，则执行步骤6)，若否，则执行步骤5)；5)比较每个x和y位置下的图片N0xy和N1xy的差异，判定样品是否发生损伤，执行步骤7)；6)在发生等离子体闪光的第(x，y)张图片上，比较激光未辐照前的N0xy‑ab位置与激光辐照后的第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1xy‑ab位置的差异，识别等离子体产生的诱因；7)电动平移台控制被测样品，回到初始坐标位置；8)提升泵浦激光能量，重复步骤3)‑步骤7)，实现被测样品相同区域在泵浦激光不同能量辐照下的测量。