[发明专利]一种提纯气体的装置

摘要

一种提纯气体的装置，涉及提纯气体的装置的领域。本发明是要解决现有的提纯气体的装置存在着生产过程中有停顿，操作过程复杂，装置中的气体提纯物质的利用率不高和利用周期短，使得气体提纯效率低，提纯后的气体的纯度不能满足实际合金生产的需要的问题，一种提纯气体的装置，是由进气管路，第一阀门，反应器壳体，环式加热器，颗粒物质，环式冷却器，第一过滤器，第二阀门，湿度计，出气管路，第一旁路，第三阀门，第二旁路，第二过滤器和第四阀门组成。本发明应用于半导体和合金领域。

主权项

一种提纯气体的装置，其特征在于提纯气体的装置，是由进气管路（1），第一阀门（2），反应器壳体（3），加热器（4），颗粒物质（5），冷却器（6），第一过滤器（7），第二阀门（8），湿度计（9），出气管路（10），第一旁路（11），第三阀门（12），第二旁路（13），第二过滤器（14）和第四阀门（15）组成，其中，反应器壳体（3）为圆柱状，反应器壳体（3）充满用于提纯气体的颗粒物质（5），进气管路（1）与反应器壳体（3）的上底面连通，出气管路（10）与反应器壳体（3）的下底面连通，在反应器壳体（3）左半部分的侧面设置加热器（4），在反应器壳体（3）右半部分的侧面设置冷却器（6），加热器（4）与冷却器（6）可互换位置，在进气管路（1）上从左至右依次设置有连通第一旁路（11）起始端的三通接头Ⅰ、第一阀门（2）和连通第二旁路（13）起始端的三通接头Ⅱ，在出气管路（10）上从左至右依次设置有连通第一旁路（11）末端的三通接头Ⅲ、第一过滤器（7）、第二阀门（8）、连通第二旁路（13）末端的三通接头Ⅳ和湿度计（9），在第一旁路上设置有阀门（12），在第二旁路上从左端到右端依次设置第二过滤器（14）和第四阀门（15）。