[发明专利]一种真空中采用热电子发射制造带电污染物的装置及方法

摘要

本发明涉及一种真空中采用热电子发射制造带电污染物的装置及方法，属于真空技术应用领域。所述装置包括：真空测试室、热电子发射阴极、热电子发射阴极陶瓷固定件、加速极支撑架、偏转栅网、测试法兰、加速极、底座、出气盖、加热台、支架、温控仪、直流稳流电源、真空机组、第一稳压电源、第二稳压电源；QCM支架；所述方法在真空中利用热电子发射阴极产生电子，并利用加速极使电子在环形电场中反复运动，运动的电子与材料受热出气产物相互作用，产生带电污染物。利用本方法可得到真空条件下，不同材料出气污染物产生的带电污染物。

主权项

一种真空中采用热电子发射制造带电污染物的装置，其特征在于：所述装置包括：真空测试室（1）、热电子发射阴极（2）、热电子发射阴极陶瓷固定件（3）、加速极支撑架（4）、偏转栅网（5）、测试法兰（6）、加速极（9）、底座（10）、出气盖（11）、加热台（12）、支架（13）、温控仪、直流稳流电源、真空机组、第一稳压电源、第二稳压电源；QCM支架（8）；其中，真空测试室（1）内部中心位置设有底座（10）；热电子发射阴极（2）通过热电子发射阴极陶瓷固定件（3）固定安装在底座（10）左侧；加速极（9）通过加速极支撑架（4）固定安装在底座（10）中部；QCM支架（8）固定安装在底座（10）右侧；偏转栅网（5）固定安装在QCM支架（8）左侧，并与QCM支架（8）之间绝缘；加热台（12）通过支架（13）固定安装在真空测试室（1）左侧，在加热台（12）中心开有出气孔，在出气孔上设有出气盖（11），加热台（12）出气孔与偏转栅网（5）正对；测试法兰（6）安装在真空测试室（1）顶部，在测试法兰（6）上布置有三个真空接插件，其中两个为高压真空接插件；在真空测试室（1）底部安装有真空法兰；直流稳流电源、第一稳压电源、第二稳压电源、真空机组、温控仪位于真空测试室（1）外部；直流稳流电源通过真空接插件与热电子发射阴极（2）连接；第一稳压电源通过一个高压真空接插件与加速极（9）连接；第二稳压电源通过另一个高压真空接插件与偏转栅网（5）连接；温控仪通过真空测试室（1）底部的真空法兰与加热台（12）连接；真空机组与真空测试室（1）连接。