[发明专利]一种基于空间光调制器的干涉光刻系统和方法无效
| 申请号： | 201210440974.2 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN102967999A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王笑冰;李建兵;张海明 | 申请（专利权）人： | 深圳大学反光材料厂 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光刻技术领域，提供了一种基于空间光调制器的干涉光刻系统，该系统中，光源发出的照射光束经过扩束镜成为发散光，发散光经过准直透镜成为平行光，平行光入射空间光调制器，空间光调制器对平行光进行图像信息调制，计算机控制空间光调制器显示图案，平行光通过空间光调制器上显示的图案进行衍射分光后成为衍射光，衍射光经过傅立叶变换透镜后在傅立叶变换透镜的后焦面上形成谱面图样，由傅立叶变换谱面滤波挡板控制所需级数的衍射光通过，通过傅立叶变换谱面滤波挡板的衍射光经过成像镜干涉成像于光刻胶干板。本发明通过计算机控制空间光调制器上显示图案，由空间光调制器同时完成图像信息调制和衍射分光的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 空间 调制器 干涉 光刻 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于空间光调制器的干涉光刻系统，其特征在于，所述系统按光束传播方向依次包括：光源、扩束镜、准直透镜、空间光调制装置、傅立叶变换透镜、傅立叶变换谱面滤波挡板、成像镜、光刻胶干板，所述空间光调制装置包括空间光调制器和计算机，计算机与空间光调制器连接；所述光源发出的照射光束经过扩束镜成为发散光，发散光经过准直透镜成为平行光，平行光入射空间光调制器，空间光调制器对平行光进行图像信息调制，计算机控制空间光调制器显示图案，平行光通过空间光调制器上显示的图案进行衍射分光后成为衍射光，衍射光经过傅立叶变换透镜后在傅立叶变换透镜的后焦面上形成谱面图样，由傅立叶变换谱面滤波挡板控制所需级数的衍射光通过，通过傅立叶变换谱面滤波挡板的衍射光经过成像镜干涉成像于光刻胶干板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学反光材料厂，未经深圳大学反光材料厂许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210440974.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
