[发明专利]光刻胶与显影液的恒温控制系统有效
| 申请号： | 201210424510.2 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103792790A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王冲 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30;G05D23/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及IC及LED行业，具体地说是一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。包括恒温水控制装置、双层套管组件及喷嘴，其中双层套管组件设有两个双层管路，每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴，另一端均为药液入口，每个双层管路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通，两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II和恒温水出口II，所述恒温水控制装置的恒温水入口I和恒温水出口I通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II和恒温水入口II连接，形成恒温水回路，内层管路浸泡在恒温水中，通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。本发明安装简单，控温精度高，反应灵敏，在IC和LED行业可广泛使用。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 显影液 恒温 控制系统 | ||
【主权项】：
一种光刻胶与显影液的恒温控制系统，其特征在于：包括恒温水控制装置(10)、双层套管组件及喷嘴(13)，其中双层套管组件设有两个双层管路，每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴(13)，另一端均为药液入口，每个双层管路的外层管路与喷嘴(13)同侧的一端相互连通，两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II(14)和恒温水出口II(21)，所述恒温水控制装置(10)的恒温水入口I(8)和恒温水出口I(9)通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II(21)和恒温水入口II(14)连接，形成恒温水回路，内层管路浸泡在恒温水中，通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。
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