[发明专利]激光直写有机热刻蚀材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201210421357.8 | 申请日： | 2012-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102880003A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 邓常猛;耿永友;吴谊群 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07C39/15;C07C39/17;C07C39/16;C07C37/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种激光直写有机热刻蚀材料及其制备方法，该材料是利用2-甲基间苯二酚或1，2，3-三苯酚与醛类在酸的催化下发生缩合反应生成的。该材料用于激光直写制备凸起型微米及纳米级图形结构，不需要用飞秒激光脉冲、不需要多层膜结构，而只需要微秒脉冲激光或是连续激光和单层膜结构，降低了对激光设备的要求，简化了工艺，降低了成本、提高了效率。另外，该有机材料相比于需要在高真空条件下采用磁控溅射或蒸镀的方法来制膜的激光热刻蚀无机材料，其可溶解于有机溶剂、可采用简便的旋涂方法制膜，进一步降低了制膜成本、提高了制膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 有机 刻蚀 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光直写有机热刻蚀材料，其特征在于该材料的分子通式如下：![]()
其中:Y代表羟基或甲基，X代表4-羟基苯、正己基或3-环己烯基团。
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