[发明专利]探针卡用接触端子和探针卡无效
| 申请号： | 201210398703.5 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103063883A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 星野智久;雨宫贵 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够防止氧化和熔损的探针卡用接触端子。在检查半导体器件的探针卡（10）的基座（11）中，在与半导体器件相对的面配置有多个伸缩探针（12），各伸缩探针（12）的柱塞（14）具有柱状的接触部（14c），接触部（14c）具有柱状的中心部（14d）和覆盖中心部（14d）的侧表面的外部筒（14e），构成外部筒（14e）的材料的硬度和电阻率与构成中心部（14d）的材料的硬度和电阻率不同。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 接触 端子 | ||
【主权项】：
一种探针卡用接触端子，其特征在于：具备柱状的主体，所述主体具有：包含第一材料的柱状的中心部；和包含第二材料且覆盖所述中心部的侧表面的外部筒，所述第二材料的硬度和电阻率与所述第一材料的硬度和电阻率不同。
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