[发明专利]裂纹尖端透射样品制备方法

摘要

本发明涉及材料分析技术领域，尤其是一种裂纹尖端透射样品制备方法，其步骤如下：a）将带有裂纹的样品在双束聚焦离子束系统中进行电子束成像，找到样品表面所要观察的裂纹尖端；b）在裂纹尖端区域沉积Pt，对所要观察区起到保护作用；c）采用“V”型切的方式切割裂纹尖端样品;d）将所切裂纹尖端样品焊接在铜网上，进行离子束减薄，直至形成透明的透射样品。本发明裂纹尖端透射样品制备方法能够准确的对其所要观察的裂纹尖端区域进行离子束减薄，使裂纹尖端区域可以进行高分辨成像，制备过程操作简单，控制精确度高，制备透射样品质量高、成功率高。

主权项

一种裂纹尖端透射样品制备方法，其特征在于：其步骤如下：1）将带有裂纹的样品在双束聚焦离子束系统中进行电子束成像，找到样品表面所要观察的裂纹尖端；2）在裂纹尖端区域沉积Pt,用于对所要观察的裂纹尖端的进行保护；3) 将样品台旋转，使离子枪与样品处于垂直状态，并在裂纹尖端Pt沉积区周边进行半封闭刻蚀；4）将样品台置于水平位置，采用离子束对裂纹尖端Pt沉积区沿刻蚀处进行 V型切割；5）伸入机械手，将机械手顶部的针尖与裂纹尖端Pt沉积区进行接触，利用Pt沉积，将针尖与V型裂纹尖端Pt沉积区焊接固定；6）将 V型裂纹尖端Pt沉积区未刻蚀处进行离子束切割，使V型裂纹尖端Pt沉积区与样品完全分离，得到裂纹尖端V型样品；7） 将铜网在电子束下成像，放下机械手，将裂纹尖端V型样品焊于水平放置的铜网上，用离子束将针尖与裂纹尖端V型样品切离，收回机械手；8) 将焊有裂纹尖端V型样品的铜网垂直置于样品架，再将样品台旋转使离子枪与样品处于垂直，对裂纹尖端V型样品进行离子束减薄。