[发明专利]梯形齿状太赫兹波滤波器无效
申请号: | 201210379278.5 | 申请日: | 2012-10-09 |
公开(公告)号: | CN102903986A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 李九生 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 张法高 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种梯形齿状太赫兹波滤波器。它包括太赫兹波输入端、太赫兹波输出端、高阻硅基体;高阻硅基体上刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构,三个梯形齿状凹槽结构的圆心组成一个等边三角形,梯形齿状凹槽结构包括外层等腰梯形凹槽、圆环型凹槽、内层扇形凹槽,外层等腰梯形凹槽等间距排列在圆环型凹槽的外侧,内层扇形凹槽等间距排列在圆环型凹槽的内侧。本发明具有窄带带通滤波特性,结构简单新颖、尺寸小、体积小、重量轻、节约材料、便于制作及易于集成等优点。满足在太赫兹波医学成像、无损检测、太赫兹波通信系统、高速短距离无线互联通信等领域应用的要求。 | ||
搜索关键词: | 梯形 齿状 赫兹 滤波器 | ||
【主权项】:
一种梯形齿状太赫兹波滤波器,其特征在于包括太赫兹波输入端(1)、太赫兹波输出端(2)、高阻硅基体(3);高阻硅基体(3)上刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构(4),三个梯形齿状凹槽结构(4)的圆心组成一个等边三角形,梯形齿状凹槽结构(4)包括外层等腰梯形凹槽(5)、圆环型凹槽(6)、内层扇形凹槽(7),外层等腰梯形凹槽(5)等间距排列在圆环型凹槽(6)的外侧,内层扇形凹槽(7)等间距排列在圆环型凹槽(6)的内侧,太赫兹波从太赫兹波输入端(1)垂直入射,经过刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构(4)的高阻硅基体(3),达到太赫兹波输出端(2),实现对太赫兹波信号的滤波。
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