[发明专利]光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置

摘要

光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置属于光栅检测领域，光栅尺的尺板位于工作台水平面，第一基准光栅尺和第二基准光栅尺位于工作台两侧，与光栅尺尺板平行；平行光管位于工作台的一侧，丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第一反射镜固定在滑台上，光电读数头固定在滑台的一侧，光栅尺读数头固定在滑台内，计算机与丝杠和光电读数头连接。本发明通过自动非接触式检测光栅尺绝对码道刻线的定位精度、宽度、复制缺欠，在线实时检测选择合格光栅尺尺板，以保证光栅尺所需的精度要求。

主权项

光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置，其特征在于，该装置包括：工作台、滑台、丝杠、平行光管、反射镜、计算机、光电读数头、光栅尺、第一基准光栅尺和第二基准光栅尺；所述光栅尺的尺板位于工作台水平面，第一基准光栅尺和第二基准光栅尺位于工作台两侧，与光栅尺尺板平行；平行光管位于工作台的一侧，丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；反射镜固定在滑台上，光电读数头固定在滑台的一侧，光栅尺读数头固定在滑台内，计算机与丝杠和光电读数头连接；光电读数头包括：LED光源、准直物镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、CCD相机和光电探测器；LED光源发出被测光，由准直物镜准直，经过第一分光棱镜反射后进入光栅尺尺板，通过光栅尺尺板反射，带有光栅尺尺板信息的被测光经过第一分光棱镜后，一部分由第二分光棱镜折射，由CCD相机采集，一部分由第二分光棱镜透射，由光电探测器采集。