[发明专利]机电换能器的制造方法

摘要

本发明涉及一种机电换能器的制造方法。提供一种由绝缘层的平坦性的变化导致的击穿强度的变化更小的机电换能器的制造方法。在机电换能器的制造方法中，在第一基板上形成第一绝缘层，并且，通过去除第一绝缘层的一部分来形成隔离壁，并且，在去除了第一绝缘层的一部分之后的第一基板的区域上形成第二绝缘层。然后，通过在隔离壁上接合第二基板来形成间隙，并且，由第二基板形成隔着间隙与第二绝缘层相对的振动膜。在形成隔离壁时，沿与第一基板垂直的方向的间隙侧的高度变得比中心部分的高度低。

主权项

一种机电换能器的制造方法，所述方法包括：通过在第一基板上形成第一绝缘层并去除第一绝缘层的一部分直到第一基板来形成隔离壁；在去除了第一绝缘层的所述部分之后的第一基板的区域上形成第二绝缘层；通过在所述隔离壁上接合第二基板形成间隙；和由第二基板形成隔着所述间隙与第二绝缘层相对的振动膜，其中，在形成所述隔离壁时，所述隔离壁被形成为使得：沿与第一基板垂直的方向，所述隔离壁的间隙侧的高度变得比中心部分的高度低。