[发明专利]接触式测量仪有效
| 申请号： | 201210337474.6 | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN102829740A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 赵春花 | 申请（专利权）人： | 昆山允可精密工业技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京市振邦律师事务所 11389 | 代理人： | 李朝辉 |
| 地址： | 215333 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种接触式测量仪，包括底座、3个直线轴、真空吸盘安装座、抽气管、晶圆、真空吸盘、标准块、标准块固定座、接触式测头；所述的3个直线轴分别为X轴、Y轴、Z轴，其中Ｘ轴和Ｙ轴相互垂直并分别固定在底座上，Z轴与Ｘ轴和Ｙ轴构成的平面垂直，Ｘ轴上通过真空吸盘安装座固定有真空吸盘，Ｚ轴上固定有侧向水平安装的接触式测头。本测量仪能在测量过程中对测量仪自身轴系精度进行补偿，进一步在传统接触式测量仪基础上提高晶圆的测量精度，而相对非接触式测量仪，不存在透明材料和高亮度表面影响测量精度的问题。另外，相对传统接触式测量仪，本测量仪兼具平面度和厚度测量双项功能。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 测量仪 | ||
【主权项】：
一种接触式测量仪，其特征在于，包括底座、3个直线轴、真空吸盘安装座、抽气管、晶圆、真空吸盘、标准块、标准块固定座、接触式测头；所述的3个直线轴分别为X轴、Y轴、Z轴，其中Ｘ轴和Ｙ轴相互垂直并分别固定在底座上，Z轴与Ｘ轴和Ｙ轴构成的平面垂直，Ｘ轴上通过真空吸盘安装座固定有真空吸盘，Ｚ轴上固定有侧向水平安装的接触式测头。
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