[发明专利]一种智能电梯按钮

摘要

本发明公开一种制备周期性V形纳米硅槽的倍频方法，包括：在硅衬底上沉积二氧化硅掩膜层，在其上旋涂光刻胶，制备周期性纳米光刻胶光栅图形，采用干法刻蚀技术将该光刻胶光栅图形转移至二氧化硅掩膜层，同时在硅层上留下可充当刻蚀掩膜作用的氟碳基有机聚合物层，将衬底放入腐蚀液进行腐蚀，将光刻胶光栅图形倍频转移至硅层上，去除二氧化硅掩膜层和氟碳基有机聚合物层，得到清洁的倍频V形纳米硅槽衬底。本发明采用纳米光刻技术简单有效的获得了纳米尺度的周期性光栅结构，并结合干湿法刻蚀技术，将图形周期减少一倍，图形密度增加一倍，得到线宽精度更高的倍频V形纳米硅槽衬底，适用于硅基量子线，硅基光纤阵列等器件的制备。

主权项

一种智能电梯按钮，其特征在于：包括按钮底座（1），所述按钮底座（1）的下端设有分别用于打开和关闭的延时按钮，所述按钮底座（1）上根据楼层所需设有若干与楼层相对应的按钮（7），所述按钮（7）包括按钮孔（2），所述按钮孔（2）内嵌有按键（3），所述按键（3）内设有红外感应模块，所述按钮底座（1）内设有用于控制红外感应模块的控制电路板，所述按钮底座（1）上还设有红外探头（4），所述按钮孔（2）与按键（3）之间、按钮底座（1）上内嵌有杀菌灯，所述红外探头（4）与杀菌灯之间设有用于控制杀菌灯打开或关闭的控制模块。