[发明专利]一种光束的微小位移测量方法及测量设备有效

专利信息
申请号: 201210301473.6 申请日: 2012-08-22
公开(公告)号: CN103630075A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 张朝民;刘玲;曹丽杰 申请(专利权)人: 上海工程技术大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 叶敏华
地址: 201620 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种光束的微小位移测量方法及测量设备,该方法包括以下步骤:距离柱面镜中心线所在平面垂直距离x0处的激光投射到柱面镜上,通过柱面镜反射到观测屏上x1处;激光发射器移动微小位移dx后,距离柱面镜中心线所在平面垂直距离x0+dx处的激光投射到柱面镜上,通过柱面镜反射到观测屏上x2处:由公式即可计算出光微小位移dx,式中h为柱面镜中心线到观测屏的距离,r为柱面镜的半径,a、b为常数,a=r2-x02,b=2x02-r2;该设备包括激光发射器、三维移动平台、柱面镜及观测屏,激光发射器设在三维移动平台上,柱面镜与激光发射器位于同一高度,观测屏位于激光发射器及柱面镜的侧面。与现有技术相比,本发明结构简单,操作方便,设备造价低,检修维护方便,测量精度更高。
搜索关键词: 一种 光束 微小 位移 测量方法 测量 设备
【主权项】:
一种光束的微小位移测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)距离柱面镜中心线所在平面垂直距离x0处的激光投射到柱面镜上,通过柱面镜反射到观测屏上x1处;(2)激光发射器移动微小位移dx后,距离步骤(1)所述的柱面镜中心线所在平面垂直距离x0+dx处的激光投射到柱面镜上,通过柱面镜反射到观测屏上x2处;(3)由公式 1 / dx = ( 8 h x 0 2 a + b 2 a + 2 h b 2 ) / [ b 2 a ( x 2 - x 1 ) ] - 8 x 0 / b 即可计算出待测的光微小位移dx,式中h为柱面镜中心线到观测屏的距离,r为柱面镜的半径,a、b为常数,a=r2‑x02,b=2x02‑r2。
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