[发明专利]包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射检测装置及检测方法有效
申请号: | 201210262289.5 | 申请日: | 2012-07-26 |
公开(公告)号: | CN102768202A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 李顺光;李夏;陈伟;胡丽丽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/55 | 分类号: | G01N21/55 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射的检测装置及检测方法,检测装置包括第一激光光源、光束整形透镜组、分光镜、第一全反镜、光束定位系统、待测样品、激光强度探测器、剩余反射探测器和数据处理系统,上述元部件的位置关系如下:沿第一激光光源的激光输出方向依次是光束整形透镜组和分光镜,该分光镜将入射光分为透射光和反射光,在该反射光方向是所述的激光强度探测器,在所述的透射光方向依次是所述的第一全反镜、光束定位系统、待测样品和剩余反射探测器,所述的激光强度探测器和剩余反射探测器的输出端与所述的数据处理系统的输入端相连。本发明可根据实际情况需要测定不同入射角度和不同位置的包边剩余反射,测量精度高。 | ||
搜索关键词: | 包边大 尺寸 玻璃 剩余 反射 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射的检测装置,其特征在于该装置包括第一激光光源(1)、光束整形透镜组(4)、分光镜(5)、第一全反镜(7)、光束定位系统(8)、待测样品(9)、激光强度探测器(6)、剩余反射探测器(10)和数据处理系统(11),上述元部件的位置关系如下:沿第一激光光源(1)的激光输出方向依次是光束整形透镜组(4)和分光镜(5),该分光镜(5)将入射光分为透射光和反射光,在该反射光方向是所述的激光强度探测器(6),在所述的透射光方向依次是所述的第一全反镜(7)、光束定位系统(8)、待测样品(9)和剩余反射探测器(10),所述的激光强度探测器(6)和剩余反射探测器(10)的输出端与所述的数据处理系统(11)的输入端相连。
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