[发明专利]一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法无效
| 申请号： | 201210255791.3 | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102798341A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 邵晶;马冬梅;张海涛;于杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J9/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法属于点衍射干涉仪测试领域，该方法包括如下步骤：将会聚镜头和小孔板同光轴放置，平行光源通过会聚镜头会聚，经由小孔板出射，一部分光线形成测试光，另一部分光线做为参考光，测试光和参考光在相机成像镜头的出瞳处共光路；将成像镜头出瞳处的出瞳光强最大值处记为A，放置一片以A点为中心，沿径向方向透过率逐渐提高的衰减片，用以调整成像镜头出瞳光束的光强分布，使中心和边缘干涉条纹的图像强度一致。本发明具有设计结构简单、成本低廉、容易加工制造的优点，能够利用较低成本解决点衍射干涉仪边缘光强下降导致模数转换位数降低的问题，提高点衍射干涉仪的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 衍射 干涉仪 测试 精度 方法 | ||
【主权项】：
一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：将会聚镜头和小孔板同光轴放置，平行光源通过会聚镜头会聚，经由小孔板出射，一部分光线形成测试光，另一部分光线做为参考光；测试光和参考光在相机成像镜头的出瞳处共光路；步骤二：将成像镜头出瞳处的出瞳光强最大值处记为A，放置一片以A点为中心，沿径向方向透过率逐渐提高的衰减片，用以调整成像镜头出瞳光束的光强分布，使中心和边缘干涉条纹的图像强度一致。
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