[发明专利]一种净化工业尾气中四氟化硅的方法有效
| 申请号： | 201210254127.7 | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102773013A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 王学谦;宁平;刘巍;陈炜;邱娟 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | B01D53/90 | 分类号： | B01D53/90;B01D53/68;B01J31/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种净化工业尾气中四氟化硅的方法，该方法用改性的活性炭作为催化剂，在微氧条件下处理净化含四氟化硅的工业尾气，本发明方法中的催化剂具有成本低，活性高、催化性好的特点，通过本发明方法净化后的尾气，四氟化硅去除率在95%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净化 工业 尾气 氟化 方法 | ||
【主权项】：
一种净化工业尾气中四氟化硅的方法，其特征在于按如下步骤进行：（1）用70℃去离子水洗涤活性炭灰尘后，将活性炭按固液比1：5‑10放入氢氧化钾与磺化钛氰钴混合溶液中浸渍老化24‑36h，过滤后用蒸馏水洗涤3‑5次，在90‑120℃下干燥12‑24h，然后通入氮气，在绝氧条件、200‑500℃下焙烧6‑10h，即得到净化所用的催化剂；（2）将改性催化剂放入固定床，密封，在加热条件40‑100℃下通入含有四氟化硅的工业尾气反应空速为100‑300h‑1，并补充氧气，氧气在工业尾气中的体积百分比浓度为0.2‑2%，吸附处理后尾气即为净化后尾气；（3）失活后催化剂用水蒸气洗涤2‑6h后，在100‑150℃下干燥12h，即得到再生后催化剂，循环用于净化工业四氟化硅尾气。
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