[发明专利]一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置

摘要

一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，动子采用线圈阵列，平面电机动子采用气浮支承，所述电流环辅助整定装置包括磁钢阵列、移动部件和驱动器组件，将平面电机动子安装于电流环辅助整定装置的移动部件上，采用驱动器依次对动子每组线圈进行电流环整定，整定完成后，将平面电机动子和线圈对应的驱动器移至双台交换系统。本发明为带有复杂动子线圈结构的单台或多台系统提供一种简单、快捷的电流环整定方式，避免单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的麻烦。

主权项

一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统（100）包括基台（101）、两个结构相同的硅片台（102）和平面电机，平面电机定子（201）采用平面永磁阵列，固定安装在基台上；平面电机动子（202）采用气浮支承，底部为线圈阵列（202a），两个硅片台（102）与所述平面电机动子（202）固定连接，其特征在于：所述电流环辅助整定装置（300）包括整定基座（303）、整定磁钢阵列（301）、移动部件（302）和驱动器组件（103）；所述整定磁钢阵列（301）固定安装在整定基座（303）上，整定磁钢阵列（301）的排布方式与所述双台交换系统（100）的平面永磁阵列的排布方式一致；所述移动部件（302）包括导轨基座（3020）、第一导轨（3021）、第二导轨（3027）、第三导轨（3028）、第一滑块（3022）、第二滑块（3023）、第三滑块（3025）、第四滑块（3026）、第一横梁（3024）和第二横梁（3029）；其中导轨基座（3020）固定安装在整定基座（303）上，第一导轨（3021）沿X方向固定在导轨基座（3020）上；第一滑块（3022）、第二滑块（3023）、第三滑块（3025）和第四滑块（3026）均与第一横梁（3024）固定连接，且第一滑块（3022）和第二滑块（3023）在第一导轨（3021）上沿导轨运动；第二导轨（3027）在第三滑块（3025）上沿Y方向运动，第三导轨（3028）在第四滑块（3026）上沿Y方向运动；第二导轨（3027）和第三导轨（3028）通过第二横梁相连接；所述驱动器组件（103）包括与平面电机线圈个数相同的多个驱动器，每组线圈对应一个驱动器，分别对线圈进行电流环整定。