[发明专利]外力检测装置和外力检测传感器

摘要

本发明提供以简单的结构高精度地检测施加在压电板的外力的外力检测装置和外力检测传感器。在容器内单臂支撑晶体板。在晶体板的上表面和下表面分别形成有激励电极。在晶体板的下表面侧的前端部形成有与下表面侧的激励电极通过引出电极连接的可动电极，与该可动电极相对地在容器的底部设置有固定电极。将上表面侧的激励电极和固定电极与振荡电路连接。对晶体板施加外力弯曲时，可动电极与固定电极之间的电容改变，掌握该电容变化作为晶体板的振荡频率的变化。进而在晶体板中，通过使薄状部位的厚度与被激励电极夹着的电极形成部位的厚度相比小，能够抑制电极形成部位的弯曲，因此能够抑制由晶体板的弯曲引起的振荡频率的变化。

主权项

一种外力检测装置，检测作用于压电板的外力，其特征在于，具备：一端一侧被容器内的基座支撑的单臂式的所述压电板；为了使所述压电板振动而在所述压电板的一面侧和另一面侧分别设置的一个激励电极和另一个激励电极；与一个激励电极电连接的振荡电路；设置于所述压电板的另一端一侧、并且与所述另一个激励电极电连接的可变电容形成用的可动电极；固定电极，其与所述压电板隔开距离，设置为与所述可动电极相对，并且与所述振荡电路连接，通过由所述压电板的弯曲导致其与所述可动电极之间的电容变化而形成可变电容；和频率信息检测部，其用于检测作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号，所述压电板，与被所述激励电极夹着的部位的厚度相比，该部位与所述可动电极之间的部位的厚度小，形成从所述振荡电路经过一个激励电极、另一个激励电极、可动电极和固定电极后返回振荡电路的振荡环路，由所述频率信息检测部检测出的频率信息，用于评价作用于压电板的外力。