[发明专利]一种新型王水系ITO蚀刻液及制备方法无效
| 申请号： | 201210206045.5 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102732252A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种新型王水系ITO蚀刻液，其特征在于：所述该蚀刻液组合物包括盐酸、硝酸、纯水和添加剂，其中添加剂包含硝酸盐化合物、氯基化合物及表面活性剂。其方法包括如下加工步骤：第一步：将强酸性离子交换树脂分别加入到盐酸和硝酸中，搅拌混合，然后滤出强酸性离子交换树脂，控制或去除盐酸和硝酸中的杂质离子；第二步：将盐酸、硝酸、氯基化合物、硝基化合物、表面活性剂、纯水六种原料按配比称重配置；第三步：将氯基化合物、硝基化合物、表面活性剂溶解在水中，再与硝酸及盐酸混合均匀即可；第四步：将混合物通入过滤器中过滤，得到所述ITO蚀刻液。该蚀刻液稳定，蚀刻效率适中，蚀刻效率良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 王水 ito 蚀刻 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种新型王水系ITO蚀刻液，其特征在于：所述该蚀刻液组合物包括盐酸、硝酸、纯水和添加剂，其中添加剂包含硝酸盐化合物、氯基化合物及表面活性剂。
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