[发明专利]包括桥部的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201210195961.3 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102811031B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 达利斯·布拉卡;菲尔·尼克尔;克里斯·冯;亚历山大·施拉卡瓦;约翰·克伊 | 申请（专利权）人： | 安华高科技通用IP(新加坡)公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及包括桥部的薄膜体声波谐振器。薄膜体声学谐振器(FBAR)结构包括设置在衬底上的第一电极、设置在第一电极上的压电层、和设置在第一压电层上的第二电极。桥部设置在第一电极和压电层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声学谐振器FBAR结构，其包括：衬底；腔，其设置在所述衬底中；第一电极，其设置在所述衬底和所述腔上，其中所述第一电极覆盖所述腔；平坦化层，其邻接于所述第一电极的边缘；压电层，其设置在所述第一电极和所述平坦化层上；第二电极，其设置在所述压电层上；和桥部，其经图案化以设置在邻接于所述第一电极一侧的所述压电层中，并沿着所述薄膜体声学谐振器的有源区的周边设置，所述桥部部分地设置于所述衬底上并延伸跨越所述腔的边缘，其中所述桥部具有倾斜的侧壁。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安华高科技通用IP(新加坡)公司，未经安华高科技通用IP(新加坡)公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210195961.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：便携式网络连接装置及其设定方法
- 下一篇：具有降噪装置的启动器
