[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201210195598.5 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102841504A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法。此组成物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)以及酮醇系溶剂(C)。其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％至25％亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，且此高邻位酚醛清漆树脂(A-1)与酮醇系溶剂(C)的重量比((A-1)/(C))为0.1至2.0。此组成物的经时安定性佳，并可制得膜厚均一性佳及分辨率高的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种正型感光性树脂组成物，其特征在于包含：酚醛清漆树脂(A)；邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；以及酮醇系溶剂(C)；其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％至25％亚甲基键结于邻位‑邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A‑1)，且该高邻位酚醛清漆树脂(A‑1)与该酮醇系溶剂(C)的使用量重量比(A‑1)/(C)为0.1至2.0。
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