[发明专利]一种磁控溅射阴极移动靶无效
| 申请号： | 201210195444.6 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103484826A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 王振东 | 申请（专利权）人： | 沈阳新瑞真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 任玉龙 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种磁控溅射阴极移动靶，包括密闭的真空容器，溅射靶材，加热器，挡板，阴极支撑座，阴极水冷背板，阴极水冷真空密封座，磁体，阴极体移动真空密封系统，工件；被镀工件从加热器和挡板之间经过，在密闭的真空容器中安装有移动阴极体，移动阴极体包括阴极体移动真空密封系统，在密闭的真空容器外实现阴极体的精确移动；磁体通过胶水黏在阴极水冷真空密封座上；阴极水冷背板与阴极支撑座组成阴极体的移动部分，溅射靶材通过机械固定方式固定阴极水冷背板上。本发明优点：磁场与工件间的相对速度永远等于工件移动的速度，不存在镀膜均匀性的问题。提高溅射靶材的溅射面积，从而提高靶材利用率，大幅降低生产产品的成本，节约资源，提高竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 阴极 移动靶 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射阴极移动靶，其特征在于：所述的磁控溅射阴极移动靶包括，密闭的真空容器（1），溅射靶材（2），加热器（3），挡板（4），阴极支撑座（5），阴极水冷背板（6），阴极水冷真空密封座（7），磁体（8），阴极体移动真空密封系统（9），工件（10）；其中：在密闭的真空容器（1）中安装加热器（3）和挡板（4），被镀工件（10）从加热器（3）和挡板（4）之间经过，在密闭的真空容器（1）中安装有移动阴极体，移动阴极体包括阴极体移动真空密封系统（9），通过导轨和步进电机的控制，光电开关的限位，在密闭的真空容器（1）外实现阴极体的精确移动；磁体（8）通过胶水黏在阴极水冷真空密封座（7）上，阴极水冷真空密封座（7）通过螺栓连接固定在密闭的真空容器（1）上；阴极水冷背板（6）与阴极支撑座（5）组成阴极体的移动部分，溅射靶材（2）通过机械固定方式固定阴极水冷背板（6）上。
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