[发明专利]低碳准单晶铸锭炉及应用该铸锭炉进行铸锭的方法有效

专利信息
申请号: 201210194736.8 申请日: 2012-06-14
公开(公告)号: CN102703969A 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 罗大伟;路忠林;林洪峰;盛雯婷;张凤鸣 申请(专利权)人: 天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06;H01L31/18
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 谭新民;谢敏
地址: 610000 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种低碳准单晶铸锭炉及应用该铸锭炉进行铸锭的方法,低碳准单晶铸锭炉包括炉体(1)、隔热笼(2)和热交换台(9),热交换台(9)上放置有坩埚(7),坩埚(7)的顶部设置有加热器A(3),其四周分布加热器B(8),加热器B(8)通过加热器升降杆(11)连接牵引装置(12),其铸锭方法分为五个步骤,包括装料、加热熔化、晶体生长、退火和冷却。本发明可以有效地抑制溶质边界层中由于碳含量富集而引起的成分过冷现象,从而降低了杂质富集对准单晶的生长速度的影响,同时可以有效地降低准单晶铸锭中碳的含量;可以有效地抑制坩埚壁附近的细晶区的产生与生长,因此可以明显地改善准单晶的铸锭质量,提高铸锭的利用率。
搜索关键词: 低碳准单晶 铸锭 应用 进行 方法
【主权项】:
低碳准单晶铸锭炉,其特征在于:包括炉体(1)、设置在炉体内的隔热笼(2)以及设置在隔热笼(2)中热交换台(9),所述的热交换台(9)上放置有一个坩埚(7),所述的坩埚(7)的顶部设置有加热器A(3),其四周分布有加热器B(8),坩埚(7)的上端还设置有一个盖板(5),炉体(1)上端设置有通气口,所述的通气口处设置有一个套管(4),所述的套管(4)依次穿过隔热笼(2)和盖板(5)连通到坩埚(7)中,所述的加热器B(8)通过加热器升降杆(11)连接炉体(1)外部的牵引装置(12)。
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