[发明专利]主动控制型磁悬浮隔振平台

摘要

主动控制型磁悬浮隔振平台，涉及隔振平台技术领域。本发明解决了现有隔振平台存在固定频率的缺点。本发明主要由动基板、定基板、三个或四个Z向承重与调整单元组成，所述包括Z向承重单元与Z向调整单元，Z向承重单元的定子永磁体固定在定子永磁体固定板之上，动子永磁体固定在动子永磁体固定板之下；定子永磁体和动子永磁体相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体和动子永磁体充磁方向相反。Z向调整单元的初级包括初级铁心和初级绕组，次级包括次级永磁体和次级轭板。Z向承重单元的动子永磁体固定板与Z向调整单元的动子沿Z向连接在一起。本发明的结果能够适应重载荷使用，且结构简单、隔振精度高、控制容易，可适用真空环境。

主权项

主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，该隔振平台包括动基板(1)、定基板(3)、4个Z向承重单元与调整单元(2)构成；所述4个Z向承重单元与调整单元(2)位于动基板(1)和定基板(3)之间，并且所述4个Z向承重单元与调整单元(2)所组成的四边形的中心与动基板中心的连线垂直于所述动基板(1)所在平面，Z向承重与调整单元(2)包括Z向承重单元和Z向调整单元，Z向承重单元包括定子永磁体(2c)、定子永磁体固定板(2d)、动子永磁体(2b)和动子永磁体固定板(2a)，定子永磁体(2c)固定在定子永磁体固定板(2d)的上表面，动子永磁体(2b)固定在动子永磁体固定板(2a)的下表面；定子永磁体(2c)和动子永磁体(2b)相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体(2c)和动子永磁体(2b)均为沿垂直方向平行充磁，并且充磁方向相反；Z向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙，Z向调整单元为动初级结构或动次级结构；Z向承重单元的动子永磁体固定板(2a)与Z向调整单元的动子沿Z向固定连接在一起；Z向承重单元的定子永磁体固定板(2d)与Z向调整单元的定子沿Z向固定连接在一起；每个Z向调整单元的动子均与动基板的下表面固定连接，每个Z向承重单元的定子均固定在定基板的上表面，动基板与定基板所在平面相互平行。