[发明专利]一种基于色素敏化TiO2薄膜的气体传感器制作方法

摘要

本发明公开一种基于色素敏化TiO2薄膜的气体传感器制作方法，选择适合于后续镀膜的基片，在基片上通过镀膜方法制作电极，将镀有电极的基片通过磁控溅射法制备纳米晶TiO2薄膜；针对所需检测的气体选择合适的色素敏化材料并将色素敏化材料溶解在与之相容的溶剂中制成色素溶液；将纳米晶TiO2薄膜放入色素溶液中浸泡12~48小时后取出，用无水乙醇将杂质冲洗干净，晾干后在30~80℃烘箱中烘1~5h；本发明使用纳米晶TiO2薄膜为基底材料，色素敏化材料为激化材料，色素分子包裹了TiO2分子的同时填充了TiO2晶体之间的间隙，可在室温下通过传感器电阻的变化定性定量地分析气体，有较高的灵敏度和较宽的检测范围。

主权项

一种基于色素敏化TiO2薄膜的气体传感器制作方法，其特征是包括以下步骤：（1）选择适合于后续镀膜的基片，在基片上通过镀膜方法制作电极，将镀有电极的基片通过磁控溅射法制备纳米晶TiO2薄膜；（2）针对所需检测的气体选择合适的色素敏化材料并将色素敏化材料溶解在与之相容的溶剂中，制成色素溶液；（3）将所述纳米晶TiO2薄膜放入所述色素溶液中浸泡12~48小时后取出，用无水乙醇将杂质冲洗干净，晾干后在30~80℃烘箱中烘1~5h即可。